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自动隔振平台

扼要描写:STACIS® III是一种矫捷的高等自动隔振平台系统。STACIS接纳进步前辈的惯性振动传感器、进步前辈的节制算法和*进步前辈的压电致动器,经由过程持续丈量空中勾当,而后扩大和延长压电致动器来过滤空中勾当,和时消弭振动。

  • 产物型号:STACIS III
  • 厂商性子:出产厂家
  • 更新时候:2021-07-12
  • 访  问  量:7091
具体先容

自动隔振平台

概述

STACIS® III是一种矫捷的高等自动隔振系统。STACIS接纳进步前辈的惯性振动传感器、进步前辈的节制算法和*进步前辈的压电致动器,经由过程持续丈量空中勾当,而后扩大和延长压电致动器来过滤空中勾当,和时消弭振动。

STACIS初设想用于断绝进步前辈半导体工场中的紧密微光刻、计量和检测装备,现已成为喧华情况(包含但不限于半导体工场、生效阐发尝试室、纳米手艺研讨、纳米制作举措措施和资料研讨中间)中敏感仪器的行业规范处置计划。

STACIS III包含一个全新的改良型数字节制器DC-2020。这款全新的高等节制系统在前后面板上接纳了新的双核处置器、以太网和USB串行端口,为用户供给了古代化且易于利用的图形用户界面(GUI)。STACIS在已具备数百个胜利的装配案例,是抱负的隔振系统,合用于对振动*为敏感的仪器。

 

自动隔振平台系统STACIS III的上风

STACIS比氛围隔振器硬数百倍,不任何氛围隔振系统的规模性。它不“软”悬架,与自动氛围系统差别,STACIS能够安排在带有外部自动氛围隔振系统的东西下方,使两个系统都在*佳状况下运转。

怪异的串行设想和专有的高力压电手艺,可完成0.6 Hz至150 Hz的宽自动带宽和从2 Hz起头减振90%的*自动隔振机能。

 

自动隔振光学平台系统STACIS III特点

●*改良型DC-2020数字节制器,供给易于利用的图形用户界面

●隔振起头于0.6赫兹,1Hz时到达40%至70%的断绝率

●频次2赫兹和更高时,垂直和程度隔振率大于90%

●下降根本举措措施的请求和扶植本钱,即便有较大外界震撼装备也可一般运转

●有用隔振规模,0.6Hz到150Hz

●取得浩繁用户的普遍承认和必定

●6向自在度硬装配设想,无需氛围悬架

●壮大的节制系统无需按期从头校准

●point-of-use设想计划,与客户现有隔振系统无缝兼容

●跟着外部情况转变,系统自动调理以顺应差别外部震撼景象

●TMC的STACIS®手艺利用压电履行器自动消振

●数字节制器与基于PC的图形用户界面(GUI)

●进步客户产物产量、品质、制品率。

●合适RoHS规范

●宽的自动隔振带宽,完美的低频隔振成果

●亚赫兹的自动震撼消弭,首要在0.6-6Hz频段内的隔振

●可重叠式设想

●自动硬式装配布局、而非软式悬浮、无低频漂移、自动元件与刚性弹簧相连

●自动弹簧滤除来自STACIS传感器的负载谐振,须要的调谐很是少,乃至无需调谐

●因为阻抗不婚配,可兼容仪器外部断绝器

●负载可达2000kg

●市场上完美的自动隔振系统

 

机能

利用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的摹拟振动来测试4500磅(2045公斤)有用载荷

 

规格

机能规格

自动自在度

6

自动带宽

0.6 Hz - 150 Hz

自动固有频次

18 Hz垂直和程度

有用的自动共振频次

0.5 Hz

1 Hz时的隔振

40% - 70%

≥2 Hz时的隔振

≥90%

10磅(4.5公斤)步进输出后的不变时候(削减10:1)

0.3秒

外部乐音

<0.1 nm RMSd>

每个隔振器的任务负载规模

低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499公斤)

中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953公斤)

高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041公斤)

刚度(1000磅 / 454公斤品质、中等承重能力隔振器)

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

从间隔隔振器大4英寸(102毫米)处发射的磁场

<0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器设想、尺寸、情况和功效请求

情况和宁静

合适CE和RoHS规范

自动隔振元件

小承重能力为3300磅(1500公斤)的压电致动器领受来自高紧缩小器的旌旗灯号,其输出高达800 VDC。垂直履行器撑持隔振的有用载荷

自动隔振元件

单个硬质各向异性弹性体(无需紧缩氛围源)

振动传感器元件

向下的地动检波器型惯性传感器,用于丈量隔振器下方的空中振动,并供给与振动勾当速率成反比的电压

自动反应节制回路

在撑持隔振外表的弹簧下方丈量、处置和衰减空中振动

隔振器尺寸(宽 x 深 x 高)

11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm

隔振重视量

75磅(34公斤)

任务温度

50° - 90°F

10° - 32°C

贮存温度

-40° - 130°F

-40° - 55°C

湿度

30 - 60%

系统电源请求

100、120、230、240 VAC

50/60 Hz AC; <600 W

合适CE规范

空中位移

<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

每个系统的隔振器数目

最少3个

可选附件

层压不锈钢平台、框架、立管、调平装配、抗震装配、晋升罩

 

DC-2020节制器规格

尺寸(宽 x 深 x 高)

19 x 8.5 x 1.75英寸

483 x 216 x 45 mm

分量

6.3磅(2.9公斤)

处置器

150/75 MHz双核

采样率

10 kHz

摹拟输出

16个通道

摹拟输出

16个通道

状况灯

单个LED

后面板端口

1个串行USB 2.0

1个串行Micro-USB

1个以太网RJ-45

2个BNC

后面板端口

1个串行USB 2.0

1个以太网RJ-45

1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器

用户界面

后面板液晶显现屏

超等终端上的字符菜单

合用于Microsoft Windows的扩大GUI

嵌入式以太网GUI

 

STACIS用户及利用范畴

1、微电子、半导体

●晶片检测

●显微光刻手艺

●掩膜校准

2、迷信研讨、纳米手艺

●SEM、TEM

●STEM、SPM

3、激光台

●性命迷信、药物研发

4、产业利用

●紧密加工

 

为甚么要挑选自动系统?

●从<1Hz起头激烈消弭空中震撼,气动平台在这一低频处没法起到有用的隔振

●进步品质、出产量

●加倍藐小特点的成像能力

●前沿研讨

●比气动平台更不变

●知足SEM规范地点装配参数的*处置计划

●使得新尝试室及研讨装备的工程造价更低

 

自动系统为什么挑选STACIS

●正中了科研者的的心声,供给了尽能够完美的无震情况。

●市场上完美微弱的低频隔振系统。

●今朝一切的SEM厂商都发布了装配参数请求,其须要的震撼参数须要自动隔振系统能力知足。

●STACIS初次发现于1990s,经TMC进一步成长,开辟和装配了数以千计的自动隔振系统,这是自动隔振节制范畴的供给的靠得住处置计划。

 

STACIS比拟气动断绝器刚性大几百倍

不变时候作为对扰动的呼应,因为怪异的串连式设想,而大大延长,抱负利用于机器制作、静态负载、激光或光源须要装配的自力刚性台面的情况下。

 

以下上风在业内都是的

●STACIS的自动隔振带宽为0.6Hz -150Hz

●6个自在度的自动震撼消弭,在1Hz时隔振8-10dB 

●从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

 

专业的情况查询拜访

1、装配前后的情况查询拜访,包含震撼、磁场、声波

2、装配后可供给情况系统系统认证

●完美的情况查询拜访办事

●开具专业情况报告

●供给震撼、磁场、声波检测及处置计划

●TMC基于其普遍经历向用户保举适用性计划 

●40多年的行业经历,业内的*导者

 

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